高分辨XRD(HRXRD)
外延多層膜厚度
晶胞參數(shù)
晶格錯(cuò)配
組份
應(yīng)變及弛豫過(guò)程
橫向結(jié)構(gòu)
鑲嵌度

X射線反射率(XRR)
薄膜厚度
組份
粗造度
密度
孔隙度

倒易空間圖譜(RSM)
晶胞參數(shù)
晶格錯(cuò)配
組份
取向
弛豫
橫向結(jié)構(gòu)

面內(nèi)掠入射衍射 (in-plane GID)
掠入射小角X射線散射(GISAXS)
晶胞參數(shù)
晶格錯(cuò)配
橫向關(guān)聯(lián)性
取向
物相組成
孔隙度

應(yīng)力和織構(gòu)分析
取向分布
取向定量
應(yīng)變
外延關(guān)聯(lián)
硬度

物相鑒定(Phase ID)
物相組成
d值確定
擇優(yōu)取向
晶格對(duì)稱性
晶粒大小