蔡司 EVO 系列模塊化的 SEM 平臺適用于直觀操作、例行檢測和研究應用
EVO系列將掃描電鏡和直觀的、友好的用戶界面體驗結(jié)合在一起， 同時能夠吸引經(jīng)驗用戶以及新用戶。無論是在生命科學， 材料科學， 或例行的工業(yè)質(zhì)量保證和失效分析領(lǐng)域，憑借可選配置， EVO 可以根據(jù)您的要求定制。
可用性
SmartSEM Touch可以通過使用您的指尖與其進行交互式工作流程控制。它簡單易學， 少了培訓，甚至新用戶在幾分鐘內(nèi)也能夠捕捉的圖像。此用戶界面還支持需要自動化工作流程以執(zhí)行可重復檢查任務的工業(yè)操作員。
圖像質(zhì)量
EVO 擅長于對未經(jīng)處理和沒有導電涂層的樣品獲取數(shù)據(jù)。EVO 還允許樣品保留其原始狀態(tài)， 維持含水和重污染樣品的數(shù)據(jù)質(zhì)量。此外當成像和微量分析面臨挑戰(zhàn)時，選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率、 對比度和信噪比。
其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)
EVO可以作為半自動、多模式工作流程的一部分，通過重新定位感興趣區(qū)域，并以多種方式收集數(shù)據(jù)，形成信息的完整性。將光學和電子顯微鏡圖像合并起來進行材料表征或零件檢驗，或者將 EVO 與蔡司光學顯微鏡相關(guān)聯(lián)，進行關(guān)聯(lián)顆粒度分析。
適合更多用戶操作
在實際的實驗室環(huán)境中，SEM 的操作通常是顯微鏡專家的專屬領(lǐng)域。但是對于非專家級用戶來說，操作SEM就變得具有挑戰(zhàn)，EVO 則同時考慮了這兩類用戶的需求。
智能導航與成像
蔡司導航相機
相機可以安裝在倉室前方， 以監(jiān)測樣品與背散射探測器以及物鏡底端之間的相對位置(倉室相機)；或安裝在真空室倉門上方 (導航相機)， 利用俯視圖查看樣品臺上樣品的擺放位置。此視圖可用于設(shè)置從光學顯微鏡圖像中識別出的預定義位置， 并在整個樣品測試過程中輕松導航。
自動化智能成像
EVO實現(xiàn)了對樣品批量自動、無人值守的圖像采集。蔡司自動化智能成像適合例行檢測。它使用戶能夠自定義邊界區(qū)域，自動生成所需的視圖或放大倍數(shù)確定的感興趣區(qū)域，并開始自動獲取圖像。自動化智能成像將大大提高樣品的測試效率，以及更多的數(shù)據(jù)產(chǎn)出。
使用六硼化鑭(LaB6) 電子發(fā)射器能夠獲得更好的圖像
六硼化鑭陰極相較于傳統(tǒng)的鎢發(fā)夾燈絲所發(fā)射的電子能夠保證您額外所需要的圖像質(zhì)量。這種優(yōu)勢體現(xiàn)在以下兩個方面:
EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)
Shuttle & Find 將EVO、光學顯微鏡和數(shù)碼顯微鏡組成一個關(guān)聯(lián)的、多模態(tài)工作流程
由于蔡司是各種類型顯微鏡和計量系統(tǒng)的供應商， 所以您還可以將EVO 與蔡司其它解決方案相結(jié)合，使其功能能夠發(fā)揮得更好。
通過使用Shuttle & Find（蔡司關(guān)聯(lián)顯微鏡的軟硬件部分），您可以在（數(shù)碼）光學顯微鏡和 EVO 之間建立一個高效的多模式聯(lián)用的工作流程。將光學顯微鏡光學對比方法與掃描電鏡成像和分析方法相結(jié)合， 獲得互補的數(shù)據(jù)， 從而更清楚地去了解樣品的材料、質(zhì)量或失效機理
能譜整體解決方案
EVO可以配置集成的 EDS 系統(tǒng)， EVO Element通過只使用一臺電腦來控制 EDS 和 SEM， 從而提高了可用性。同時通過為顯微鏡和 EDS 控制提供專用的用戶界面， 可以實現(xiàn)并行控制。
EVO 系列
真空室尺寸選擇
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樣品高度 |
100 mm |
145 mm |
210 mm |
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樣品直徑 |
230 mm |
250 mm |
300 mm |
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電動載物臺行程XYZ |
80 x 100 x 35 mm |
125 x 125 x 50 mm |
130 x 130 x 50 (或 80) mm |
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高真空模式 (HV) |
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可變壓力模式 (VP) 不導電且不噴涂導電層樣品的高質(zhì)量成像和分析 |
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擴展壓力模式 (EP) |
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