1. 電荷注入式檢測(cè)器（CID）

400萬(wàn)像素CID 檢測(cè)器，2MHz高速讀取數(shù)據(jù)，信噪比，并保持有信號(hào)擁有9個(gè)數(shù)量的動(dòng)態(tài)范圍

2. 恒溫光學(xué)系統(tǒng)

緊湊精密的光學(xué)系統(tǒng)，在波長(zhǎng)200nm處光學(xué)分辨率小于7pm，確保檢出限，對(duì)復(fù)雜多線樣品進(jìn)行簡(jiǎn)單分析，eUV 紫外增強(qiáng)分析模式增強(qiáng)遠(yuǎn)紫外區(qū)元素靈敏度。

3.垂直矩管

擁有方便拆卸的POP 石英窗，易于觀察和維護(hù)，垂直炬管與等離子接口結(jié)合，可獲得耐用性

4. 智能Qtegra軟件

易用的Qtegra 軟件，技術(shù)人員易上手，智能監(jiān)控分析物并直接提供分析結(jié)果，軟件符合CFR21。

5. 時(shí)尚外觀

新外觀設(shè)計(jì)，讓儀器擁有小占比。